电路板抄板扫描探针显微镜

电路板抄板扫描探针显微镜

技术参数：
　　1. 显微镜：多种可选Multimode SPM扫描头；
　　AS-0.5系列：横向(X-Y)范围0.4µm×0.4µm，竖直(Z)范围0.4µm；
　　AS-12系列：横向(X-Y)范围10µm×10µm，竖直(Z)范围2.5µm；
　　AS-130系列：横向(X-Y)范围125µm×125µm,竖直(Z)范围5.0µm；
　　PF50：横向(X-Y)范围40µm×40µm，竖直(Z)范围20µm；
　　2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 （带防震系统的测量值）；
　　3. 样品大小：直径≤15mm, 厚度≤5mm；
　　4. 针尖/悬臂支架：
　　空气中轻敲模式/接触模式(标准)；
　　液体中轻敲模式/力调制(可选)；
　   空气中力调制(可选)；电场模式(可选)；
　　扫描热(可选-需要大的光学头或者外加的应用组件)；
　　STM转换器(可选)；
　　低电流STM转换器(可选)；接触模式液体池(可选)；
　　电化学AFM或STM液体池(可选)；
　　扭转共振模式(可选)；
　　5. 防震和隔音：
　　硅胶共振模式(可选)；
　　防震三脚架(可选) ；防震台(可选)；
　　集成的防震台和隔音罩(可选)；